近年，车间净化室，在这些规则规模中坚持处理空气进程，使咱们必需承担资金和运营本钱。可是为什么值得花费这么多钱用在无尘车间、洁净室中操控相对湿度呢？道理很简单，净化室定制，因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体体现下降的因素，其间包含：1、---成长；2、工作人员感到室温舒适的规模；3、出现静电荷；4、金属腐蚀；5、水汽冷凝；6、光刻的退货；7、吸水性。
净化工程洁净室的温湿度主要是根据您的加工技术请求来断定，在满意加工技术的条件下，---应当思考人的舒适感。随着空气洁净度请求的进步，技术对温湿度的请求也越来越高，有---到达必定的温湿度等级。例如在---集成电路生产的光刻---技术中，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差请求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就导致了0.24um线性膨胀，所以有---有±0.1度的恒温，风淋净化室，一起请求湿度值通常较低，因为人出汗今后，对商品将有污染，净化室，---是怕钠的半导体车间，这种车间不宜---25度。
无尘室内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列基本原则：若能che底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。---性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。
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