洁净室净化工程设计应---安全生产和满足环境保护的要求。洁净室净化工程的稍置和各项设施的设计均必须符合消防、防火的要求，应按的有关标准、规范进行设计，由于洁净室净化工程内的平面和空间扣置持殊、走道曲折等特点，在进行各项技术设施的系统设计、设备配置和材质选样时，加---注意按规定选用符合要求的系统、没备和材质。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
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