光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于---设计之密闭空间。光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、、食品制造等行业不可或缺的重要设施
之间的摩擦,无尘净化室,工艺上的研磨,喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作,所有选些都可能产生静电,在一般情况下,越是电导率小的非导体(绝缘体),净化室厂家,由于电荷产生后不易流动,因此表现为越容易带电。静电问题所以在洁净室中------,是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素,宁德净化室,而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面,尼龙、的确良等工作服都有---的电阻率,都极易产生静电和集聚静电,在洁净室的静电灾害未被重视以前
但在一个操作间,机器以及机器周围走动的人员,会对气流形成障碍。障碍物可以使单向流变成紊流,从而在障碍物周围形成气流团。人员的活动也可以使单向流变成紊流。在这些紊流中,由于风速较低,空气稀释程度较小,从而使得污染浓度较高。因此,必须将风速保持在0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的范围里,以便使中断的单向流能快速恢复,风淋净化室,充分稀释障碍物周围紊流区的污染。用风速可以正确地表示出单向流,因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关,如吊顶的高低,因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍(10到100倍)。
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