净隧道另有二项优点:a.弹性扩充容易; b.维修设备时可在维修区轻易执行。(2)洁净管道(clean tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到---之洁净度,可节省能源,福州净化室,不需人工的自动化生产线为适宜使用。---、食品业界及半导体业界均适用。
近几年来,净化室定制,由于技术之创xin发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如---型积体电路之研究制造,已成为各guo在科技发展上---重视的项目,无尘净化室,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于---位。学微电子净化工程一般包括:1、 洁净生产区2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)
经济和科技发达的和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,都规定了有关的洁净度等级,车间净化室,例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布<洁净厂房设计规范>(gbj73-84),1996年该规范进行了较大的修改,1990年颁布<洁净室施工及验收规范>(jgj71-90)以指导施工和验收的重要文件。该规范在重新修订中。gbj73-84规定的洁净度等级等级每立方米(升)空气中>0.5μm尘粒数每立方米(升)空气中>5μm尘粒数100<35*100(〈3.5〉 1000<35*1000(〈35〉<250(〈0.25〉10000<35*10000(〈350〉<2500(〈2.5〉100000<35*100000(〈3500〉<25000(〈25〉
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