局部照明这是为增加某一地点（如工作点）的照度而设置的照明。但在室内照明由一般不单独使用局部照明。(3)混合照明这是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按<洁净厂房设计规范>应占总照度的10%—15%，福州净化室，但不低干150lx。 单位被照面积上接受的光通量即是照明单位勒克斯(lx)。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，净化室设计，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
进入手术间的工作人员必须换手术室的刷手衣和拖鞋，将自己的衣服全部遮住，车间净化室，佩戴zhuan用手术帽和口罩，以减少---自身皮屑和毛发脱落对环境的污染。
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