在进行洁净室净化工程的平面布局时必须符合的现行规范中有关安全生产、消防、和职业卫生方面的各种要求;在进行洁净室净化工程平面布局时应充分考虑物流的安排.尽力做到短捷、流畅。在空间设计时应分考虑产品生产过程和洁净室净化工程内各种管线、物流运输的合理安排。在确定洁净厂房的平面、空间布置后,对洁净室净化工程设计涉及的各个提出设计内容、技术要求及设计中应注意的相关问题。
洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,净化室定制,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,净化室设计,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,---是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。
风淋净化室-福州净化室-福州同盛彩钢板厂家由福州同盛净化彩钢板有限公司提供。福州同盛净化彩钢板有限公司拥有---的服务与产品,不断地受到新老用户及业内人士的肯定和---。我们公司是商盟会员,---页面的商盟图标,可以直接与我们人员对话,愿我们今后的合作愉快!同时本公司还是从事纸蜂窝彩钢板,净化彩钢板,岩棉彩钢板的厂家,欢迎来电咨询。
联系我们时请一定说明是在100招商网上看到的此信息,谢谢!
本文链接:https://tztz80925a2.zhaoshang100.com/zhaoshang/276362300.html
关键词: