风淋净化室-福州同盛彩钢板公司-福州净化室

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    2022-5-31

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净化实验室 -如何选购净化设备 1、针对滤材:好的过滤材料(目---界---的hepa高密度滤材)吸附0.3微米以上污染物的能力---99.9%以上;如果室内污染较重,可选择除尘效果较佳的空气净化器。2、关于净化效率:房间较大,应选择单位净化风量大的空气净化器;例如15平方米的房间应选择单位净化风量在120立方米/小时的空气净化器;3、使用寿命:随着净化过滤胆趋于饱和,福州净化室,净化器的吸附能力将下降,净化室厂家,所以消费者应该选择具有再生功能的净化过滤胆(含活性催化碳),以延长其寿命。



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洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,净化室设计,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,---是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,风淋净化室,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。


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